RKD化学开封机是性价比较高的激光机,它具有缩短分析时间减少强酸环境暴露的特点,特别对于功率模块产品可成倍提高产品分析过程中的开盖效率,与其他竞争对手设备相比一半的价格占了的优势。目前已和多家院校、研究所、外资企业,取得了一致**!
RKD化学开封机特点:
能够产生复杂的刻蚀开口形状
不破坏Al,Cu,Au而暴露内部结构
有利于随后用酸的清除操作,能够用于低温、低腐蚀条件
可选组件能够进行完**够生产各种复杂形状的型腔
激光刻蚀系统设计用于有效的进行IC器件的,既可以用于单个器件也可以用于多个器件。
系统心脏为一个Nd:YAG10nm二极管抽运激光头,它被安装在有完全激光屏蔽保护的腔体里,符合VBG93、DINEN和CE标准。
集成的光学观察系统可以保证稳定的监测样品。也可以将X光或超声波图像叠加在要的器件的图像上,可以为成功的提供额外的数据。
视觉失效分析软件包含画图工具,可以在器件图片上绘图,用于定位要去除的材料。实际被去除的材料总量可以通过摄像机的聚焦-景深技术或额外的机械仪表进行测量。
系统软件控制所有的程序参数,如功率、频率、扫描速度、聚焦距离等。所有程序参数都能够以特定材料和产品名存储,以便*的调用。
激光刻蚀之后,芯片表面能够用湿法刻蚀在低温下暴露出来,可以手动(滴上适当的酸液)或自动(用自动酸机)进行,避免机械或电性变化。
美国RKD生产的EliteEtch是一台自动混酸机,通过整合了的特点使得它可以获得更高的产能。新机的设计通过将、硫酸或混酸分配到器件上,可以更加快速和*的打开较精细的封装,而不会损伤样品。
RKDEngineering集成了双控制用于所有液体在瓶容器和机之间进行耦合。内部连接是在特氟龙密封的管路内运行的,它可以由瓶子盒的任何一端来供给。瓶子容器装置内包含了液体传感器,当酸从任何一个瓶子中泄露后都会给操作员发出警告。EliteEtch机即能够使用500美标瓶子,也可以使用日本标准的瓶子。
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