软件操作规格酸的选择 :发烟硫酸/发烟硝酸/混酸注意: 所有混合比例都是在泵系统内部动态准备的。混酸比例 (硝酸到硫酸比例): 9:1, 5:1, 4:1, 3:1, 2:1, 1:1刻蚀后冲洗选择:发烟硫酸/发烟硝酸/混酸/无冲洗注意: 酸的冲洗温度设定是根据刻蚀温度自动校准的。刻蚀时间: 1 - 1,800 seconds ( 1秒的增加幅度)注意: 刻蚀时间能够在刻蚀期间动态调整。 刻蚀形式 - (i) 脉冲刻蚀(ii) 往复刻蚀 – 酸脉动刻蚀温度范围 20℃- 90℃ (硝酸)20 - 250℃(硫酸)20 - 100℃ (混酸)刻蚀剂流量选择 -1 - 6 ml.每分钟(所有酸和混酸)
RKD ELITE ETCH自动双酸开封机
- 创新的软件
- 动态刻蚀时间调节
- 多酸冲洗选项
- 占地面积小
美国RKD生产的Elite Etch是一台自动混酸开封机,通过整合了先进的特点使得它可以获得更高的产能。新开封机的设计通过将硝酸、硫酸或混酸精确分配到器件上,可以更加快速和*的打开***精细的封装,而不会损伤样品。
RKD 酸开封机内包含了众多工程创新。整体式刻蚀头组件是由高等级的碳化硅加工而成,可以非常**的用来抵抗酸腐蚀。再加上主动氮气监测和清洗系统,这一整体设计可以在刻蚀后降低残留在刻蚀头上酸的发烟—而对于其它没如此复杂的设计则是一种常见现象。我们这种整体碳化硅选够缩短加热时间。
器件压制组件(压杆芯头)是由手动激活的,设计用于大量的运动。压杆芯头正常情况是缩回的,并且仅当安全盖完全关闭后才伸出。压杆芯头的垂直移动保证器件稳定在刻蚀头上,从而消除了无论是器件还是夹具的移动。
在每次开始和结束刻蚀程序后,安全盖由手动关闭和打开。关闭安全盖,开始已经编制好的刻蚀步骤的程序,打开安全盖将停止所有刻蚀步骤。所有连接到刻蚀盘的酸管路由快速对称压力节点制成,以消除麻烦的高温密封问题。