激光机IC开盖开帽设备塑封
半导体业的铜制成芯片越来越成为发展主流,这给失效分析中器件带来越来越高的挑战。传统的酸已经没有办法完成铜制成器件的,良率一般低于30%。此时仪准科技推出的激光机,给分析产业带来了新的技术。
产片特点:
1、对铜制成器件有很好的效果,良率**90%。
2、对环境及人体污染伤害交小,符合环保理念。
3、效率是普通酸机台的3~5倍。
4、电脑控制形状、位置、大小、时间等,操作便利。
5、设备稳定,故障率远低于酸机台。
6、几乎没有耗材,runningcost很低。
7、体积较小,*摆放。
美国RKD生产的EliteEtch是一台自动混酸机,通过整合了的特点使得它可以获得更高的产能。新机的设计通过将、硫酸或混酸分配到器件上,可以更加快速和*的打开较精细的封装,而不会损伤样品。
机器尺寸():190 x 320 x 305
温度范围:1, 发烟硫酸: 室温 - 250c.
2, : 室温 - 90C.
3, 混酸: 室温 - 100C (RKD ETCH)
4, 混酸(**): 10C -100C (RKD CU) 选项
抽酸流量: 1 - 6 /minute
蚀刻头组件: 固定式碳化硅
N2气体支持:2.0 lpm (安全盖子+泵),60-70 Psi
安全:1, 自动显示错误信息
2, EMO紧急停止按扭
3, 漏酸侦测在设备内部和瓶子BOX里
4, 采用光纤感应盖子的密合度(不是耗材)
5, 所有管路一体化设计,双层保护套,并且酸瓶盒配有盖子
废酸瓶:1个
固定样品方式:盖子盖下以后,自动从上到下,直接固定样品
密封圈:圆型(不是耗材)
操作方式:可在通风柜外手持式操作(更安全)
自动酸清洗选项: 0-20秒,(可选择硫酸,,混酸清洗或不清洗)
安全:1, CE
2, SEMI S3-93
3, SEMI S2000
4, RoHS
开封垫圈:共有7套标准的垫圈和根据客户定制的垫圈
蚀刻方式:脉冲式和互惠式
时刻时间:1-0秒,以1秒为调节范围
混酸配比:9:1, 5:1, 4:1, 3:1, 2:1, 1:1
存储参数:100组
激光机介绍:激光机是用来将元器件,即使用激光机去除元器件塑封料,近两年年铜线产品变多,客户对要求越来越高,导致激光机需求应运而生,其安全方便,可靠性高等特点深受客户喜欢,
激光机特点:
1、对铜引线封装有很好的效果
2、对复杂样品的较为方便
3、可重复性、一致性较高
4、电脑控制形状、位置、大小、时间等,操作便利
5、对环境及人体污染伤害较小,安全性高
6、几乎没有耗材,使用成本很低
7、体积较小,*摆放,
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