芯片化学开封机

机器尺寸(mm)：190 x 320 x 305

温度范围：1, 发烟硫酸: 室温 - 250c. 2, 发烟硝酸: 室温 -  90C. 3, 混酸: 室温 -  100C (RKD ETCH)

               4, 混酸(**): 10C -100C   (RKD CU)  选项    

抽酸流量：    1 - 6 ml/minute

蚀刻头组件： 固定式碳化硅

N2气体支持：2.0 lpm (安全盖子+泵)，60-70 Psi

安全：1, 自动显示错误信息

         2, EMO紧急停止按扭

         3, 漏酸侦测在设备内部和瓶子BOX里

         4, 采用光纤感应盖子的密合度(不是耗材)

         5, 所有管路一体化设计，双层保护套，并且酸瓶盒配有盖子

废酸瓶：1个

固定样品方式：盖子盖下以后，自动从上到下，直接固定样品

密封圈：圆型（不是耗材）

操作方式：可在通风柜外手持式操作（更安全）

自动酸清洗选项： 0-20秒，（可选择硫酸，硝酸，混酸清洗或不清洗）

安全证明：1, CE

               2, SEMI  S3-93

               3, SEMI  S2000

               4, RoHS 

开封垫圈：共有7套标准的垫圈和根据客户定制的垫圈

蚀刻方式：脉冲式和互惠式

时刻时间：1-1800秒，以1秒为调节范围

混酸配比：9:1, 5:1, 4:1, 3:1, 2:1, 1:1

存储参数：100组