美国RKD生产的Elite Etch是一台自动混酸开封机,通过整合了先进的特点使得它可以获得更高的产能。新开封机的设计通过将硝酸、硫酸或混酸精确分配到器件上,可以更加快速和*的打开*精细的封装,而不会损伤样品。
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RKD ELITE ETCH自动双酸开封机
- 创新的软件
- 动态刻蚀时间调节
- 多酸冲洗选项
- 占地面积小
美国RKD生产的Elite Etch是一台自动混酸开封机,通过整合了先进的特点使得它可以获得更高的产能。新开封机的设计通过将硝酸、硫酸或混酸精确分配到器件上,可以更加快速和*的打开***精细的封装,而不会损伤样品。
RKD 酸开封机内包含了众多工程创新。整体式刻蚀头组件是由高等级的碳化硅加工而成,可以非常**的用来抵抗酸腐蚀。再加上主动氮气监测和清洗系统,这一整体设计可以在刻蚀后降低残留在刻蚀头上酸的发烟—而对于其它没如此复杂的设计则是一种常见现象。我们这种整体碳化硅选够缩短加热时间。
器件压制组件(压杆芯头)是由手动激活的,设计用于大量的运动。压杆芯头正常情况是缩回的,并且仅当安全盖完全关闭后才伸出。压杆芯头的垂直移动保证器件稳定在刻蚀头上,从而消除了无论是器件还是夹具的移动。
在每次开始和结束刻蚀程序后,安全盖由手动关闭和打开。关闭安全盖,开始已经编制好的刻蚀步骤的程序,打开安全盖将停止所有刻蚀步骤。所有连接到刻蚀盘的酸管路由快速对称压力节点制成,以消除麻烦的高温密封问题。